先导元创携核心半导体零部件亮相SNEC  多款MFC产品已实现头部客户批量应用

2026 SNEC光伏储能展期间，广东先导元创精密科技有限公司泛半导体销售部经理许凡接受中国阳光能源网专访，讲述了这家背靠先导集团的年轻企业，如何快速实现半导体核心零部件国产替代，并针对氢能赛道定制推出专属MFC产品的发展路径。

年轻公司背靠深厚积淀四大产品线覆盖核心需求

“先导元创精密2023年7月才在广州成立，说起来是行业里的新公司，但我们其实站在巨人的肩膀上。”许凡开篇就清晰定位，作为先导科技集团旗下专注半导体及泛半导体设备核心零部件的新业务板块，公司依托集团30余年的技术积累，起步就站上了行业高位。

目前先导元创精密已经打造出完整的核心零部件产品矩阵，覆盖四大核心品类：

气路控制类‌：涵盖MFC（气体质量流量控制器）、气体压力控制器、气体比例调节控制器，是公司核心主打产品；

特种电源类‌：覆盖第四代半导体金刚石晶体生长用微波电源，以及高压电源、射频电源、中频感应加热电源等多个品类；

科学仪器类‌：布局EPD光谱仪、非接触式红外高温计、真空成分分析仪等科仪核心部件；

先进陶瓷类‌：开发了氢能领域专用的二氧化锆、二氧化钌等高端陶瓷产品。

红外高温计VSI PL0814T

产能与研发布局方面，公司目前已经形成“广州总部+清远生产基地+上海研发中心+北京新材料研究院”的全国架构，员工规模近2000人，淮安、衢州两大新建生产基地也即将投产，产能储备足以应对下游客户的增长需求。

作为核心主打产品，先导元创精密的MFC已经实现批量国产替代落地：在刻蚀、镀膜、ALD、CVD、PVD等主流半导体先进制程设备上实现稳定批量供应，下游客户既覆盖中微公司等国内头部半导体设备企业，也成功进入应用材料、台积电、泛林集团等国际顶尖厂商的供应链；泛半导体领域我们的MFC、EPD光谱仪、微波电源等产品也已进入像京东方、惠科、天马等面板行业，以及黄河旋风、宁波晶钻等头部第四代半导体金刚石企业，国产替代成果显著。

嵌入式高精度高温计

定制氢能专属MFC 三大优势匹配产业痛点

此次SNEC展会，先导元创精密重点推出了针对氢能与燃料电池领域‌定制开发的E系列热式MFC‌，许凡详解了这款产品专为氢能赛道打磨的核心优势：

从应用场景来看，这款MFC主要服务于燃料电池测试平台的燃料供给、电解槽制氢的气体配比以及氢气输送管路，完全贴合氢能产业的核心需求，之所以选择主推热式技术路线，核心是三大优势刚好匹配行业痛点：

1. 技术适配性强 高性价比更耐用

E系列热式MFC采用热传感技术，对气体洁净度要求更低，相比其他技术路线更不容易堵塞、故障率更低，对于氢能客户来说是高性价比的选择，更适配行业现阶段降本需求。

2. 全量程覆盖 适配全场景需求

产品量程覆盖从‌2SCCM（2毫升/分钟）到500SLM（500升/分钟）‌，小到燃料电池单电池测试的微量氢气注入，大到百千瓦级燃料电池电堆的大流量氢气供给，全场景都能完美适配，覆盖从研发测试到规模化应用的全阶段需求。

气体质量流量控制器V系列VG80

3. 多气体兼容 安全设计适配氢气特性

这款MFC可支持匹配440余种气体，完全覆盖氢能领域常用的氢气、甲烷、氮气等品类；同时针对氢气的特殊属性，气体接触部分全部采用316L甚至更高等级的UHP不锈钢，专门做了抗氢脆处理，从材质根源解决氢气应用的安全隐患。

许凡透露，目前这款专为氢能开发的E系列热式MFC，已经在多家燃料电池测试平台、电解制氢设备系统上实现广泛应用，多个示范项目运行稳定，得到了客户的一致认可。

气体质量流量控制器E系列E60

“我们的核心使命就是攻克半导体设备核心零部件的‘卡脖子’难题，依托集团30年的技术沉淀，我们既有能力在半导体领域实现国产替代，也能为氢能等新兴新能源赛道提供高品质的国产核心部件。”许凡表示，未来先导元创精密会继续加大新兴赛道的产品研发，针对氢能产业开发更多适配的核心零部件，助力新兴产业降本升级，推动国产核心零部件替代走向纵深。